技术编号：2735721
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种提高热稳定性的方法，尤其是一种，具体地说利用7350光刻胶刻蚀0. 5 μ m金属条的方法。背景技术7350光刻胶是正性光刻胶，主要由树脂、感光剂、及溶剂等不同的材料混合而成的。所述7350光刻胶的特点是分辨率高，但热稳定性差。在130°C以上温度烘烤时，7350 光刻胶将软化并产生形变，所以无法作为金属腐蚀的掩膜在RIE (反应离子刻蚀)金属等离子设备刻蚀出0. 5um的金属条；但是在RIE设备刻蚀0. 5 μ m金属条必须采用7350光刻...
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