波长转换光学元件、波长转换光学元件的制造方法、波长转换装置、紫外线激光照射装置 ...的制作方法技术资料下载

技术编号:2736692

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本发明涉及波长转换光学元件、波长转换光学元件的制造方法、波 长转换装置、紫外线激光照射装置以及激光加工装置。背景技术在紫外线激光中,有从红外光区域的光源激光通过多次利用波长转 换光学元件的非线性光学效应来产生紫外光的方法。其中,作为在最终 阶段等中使用的波长转换光学元件,以本发明人等开发的化学组份CsLiB601()(以下还称为"CLBO")结晶为代表的硼酸铯锂系列结晶是能 够高效率地产生紫外线激光的结晶。关于上述CLBO结晶已报告有,能 够以高的转换效率...
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