技术编号：2736701
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术微机电系统(MEMS)包括微机械元件、致动器及电子器件。微机械元件可使用 沉积、蚀刻或其它可蚀刻掉衬底及/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成 电和机电装置的微机械加工过程形成。 一种类型的MEMS装置称为干涉式调制器。如 本文中所使用，术语干涉式调制器或干涉式光调制器是指使用光学干涉原理有选择地 吸收及/或反射光的装置。在某些实施例中，干涉式调制器可包含一对导电板，所述导 电板中的一者或两者可是全部或部分地透明及/或反射的且在施加适合的电...
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