技术编号：2736866
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及衍射光学元件设计制造，尤其涉及。背景技术衍射光学元件是利用光的衍射现象对光波的波前进行调制，从而实现特定功能的光学元件的总称。这些衍射光学元件通常包括各种光栅、波带片和光子筛等。它们在微电子光刻技术、波前整形、光通信、聚焦成像以及微细加工等领域获得了广泛的应用。例如，上述衍射光学元件中的波带片是具有自聚焦能力的衍射光学元件，目前的加工工艺可以使其分辨率达到十几纳米，因此，它可以应用到微电子光刻领域。但是，这些传统的衍射光学元件的衍射效率较低，大大...
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