技术编号：2736910
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。国际y〉开第99/49504号小册子19发明内容本发明第八形态提供一种使村底(P)啄光的曝光方法，其特 征在于包括在保持于衬底载台的衬底上，通过液浸机构(IO等)用液 体填满啄光用光(EL)的光路空间；用上迷啄光用光经由上述液体使上 述衬底曝光(SS1);及在不进行上述衬底的曝光的期间，对上述液浸机 构的上述液体供给口 (13、 14)及回收口 (23A - 23D)的至少 一方供给洗 净用液体(1A)(SS2)。另外，附加于以上本发明的规定组件的带括号符...
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