技术编号：2736937
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种，尤其，涉及具有脊型波导 的。背景技术以往，在光通信领域或光计测领域中，光调节器或光开关、偏光器等各种光控制元件被实用化。在形成于光控制元件的光波导，除将Ti等杂 质热扩散的光波导，还有在基板表面形成凸状脊的脊型波导等。在近年，为了减低光控制元件的驱动电压或改善高频应答性，构成光 控制元件的基板的薄板化或光控制元件内的光电路的小型化等正在发展。 光电路的小型化导致构成光电路的光波导的剖面积的减少，产生如下问 题。(1) 存在光波导结构的制造方...
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