技术编号：2736942
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。0001下面公开的实施例一般涉及为微机电系统(MEMS)提供非 线性支撑，并更具体地涉及为模拟微镜提供非线性支撑。背景技术0002目前，各种机械装置的小型化开辟了技术进步的新领地。这 种微机电系统("MEMS")在基底上集成机械元件和电控电路，并 且通常使用集成电路技术制造。因为它们的尺寸较小，MEMS在现代 小型产品的发展中变得越来越有用。普通的应用包括加速度计、压力 传感器、致动器以及空间光调制器。0003MEMS器件中的一种包括微镜。微镜器件使用数千...
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