技术编号：2736969
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光调制器及其控制方法。本发明具体地涉及到、但不只是涉及到在成像系统中使用的微光机电系统(MOEMS)空间光调 制器。背景技术空间光调制器是对于多种成像应用有价值的，包括科学仪器和商业产品。经由追溯本发明的背景，MOEMS光调制器是已知的，其利用光干 涉效应来控制光束的强度和/或相位。例如，刘易斯(Lewis)等人在 SP1E-5614(1994年)第24 - 30页发表的文章说明了基于带可调式间隙的 MOEMS器件的光调制器结构，所述可调式间...
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