技术编号：2737384
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光烧蚀方法及工具。具体地说，涉及在用于制造平板显示器的大面积玻璃基板上对薄膜进行激光烧蚀处理的领域。本发明是新颖的，它只使用小掩模来烧蚀甚至最大的显示器的全部区域，并在移动中的基板上进行操作。背景技术制造平板显示器('FPD')的各组成部分需要多个加工步骤，所述步骤包括从掩模进行光刻图案转移，以在合适的光敏抗蚀层中形成图像，然后在稍后的蚀刻加工期间用该图像在该抗蚀层下面的薄膜中限定一图案。为产生高分辨率的图案， 一般需要使用光学投影系统，其中利...
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