技术编号：27383288
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。自停止性抛光组合物及用于块状氧化物平坦化的方法.本申请是中国发明专利申请(发明名称：自停止性抛光组合物及用于块状氧化物平坦化的方法，申请日：年月日；申请号：.x)的分案申请。背景技术.在集成电路及其它电子器件的制造中，多层的导电、半导电及介电材料沉积于基板表面上或自基板表面移除。随着若干层的材料顺序地沉积于基板上且自该基板移除，该基板的最上部表面可能变为非平面的且要求平坦化。表面的平坦化或表面的“抛光”为其中材料自基板表面移除以形成大体上均匀平坦的表面的...
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