技术编号：2738821
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超声波应用，涉及一种聚合物光刻胶超声时效的装置 和方法。技术背景聚合物SU-8光刻胶因其在UV-LIGA技术应用中所具有的低成本、可制作高 深宽比结构的特点而得到越来越广泛的应用。目前高应力问题是应用于UV-LIGA 技术的SU-8胶亟待解决的难题之一。近年来MEMS研究人员已在改善胶层内应 力方面做了一些研究工作。杂志《功能材料与器件学报》2005年第2期第251-254 页提出降低后烘温度(至85°C)和升温速度(rC/min)可显著消除应力...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。