技术编号：2738934
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种重工流程，尤其是指于检测结果错误之基板不进行曝 光步骤，藉此将可以显影步骤进行重工的一种彩色滤光片之重工流程。背景技术(请参阅图1所示)彩色滤光片之重工流程主要包括有在基板上涂饰光阻(coat)，如步骤11所示。当光阻涂饰完成后，将以人工抽验方式对 部分涂饰光阻的基板进行抽检，以确定基板涂饰是否正常？如步骤12所不o若抽检测的结果确定基板涂饰為正常，则可继续进行相关的作业流程，并对基板上进行曝光(exposure)，如步骤13所示。反之，若抽...
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