一种dlc红外抗反射保护膜及其制备方法技术资料下载

技术编号:2739462

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本发明涉及一种DLC红外抗反射保护膜及其制备方法。该红外抗反射保护膜 通过非平衡磁控溅射法成膜于红外透明光学元件的入射面或入射面与出射面上,使入射面的反射光量得到降低,该红外抗反射膜在较宽的红外波段具有较好的抗 反射效果,同时该膜层具有耐磨抗蚀的作用。二背景技术抗反射膜已广泛用于减少空气和光学元件边界光线反射的光学领域。照相机 镜头、液晶显示器、汽车窗玻璃、太阳能电池、红外探测等便是这类应用的例子。红外窗口是探测器红外探测等的前置保护部件,ZnSe、 Ge...
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