技术编号：2739517
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于微波光子器件领域，涉及一种基于SOI光波导的单片集成的微波光子移相器及其制备方法。 背景技术 20世纪70年代初开始使用的相控阵天线(PAA)技术目前在雷达和通信等领域显得越来越重要。以电扫描代替机械扫描使天线的扫描速度、灵活性以及处理多目标的能力有了大幅度的提高。然而，全电控系统尺寸大、损耗高、瞬时带宽窄、抗电磁干扰能力较差。随着微波光子技术的发展，以光纤代替传统的金属波导和同轴电缆来传送微波信号，不仅可以减小体积、减轻重量、降低成本、提...
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