技术编号：2740122
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含有具有三嗪骨架的多官能环氧化合物作为交联剂的正型抗蚀剂组合物。该组合物特别适合于用作平坦化膜和微透镜材料。背景技术电荷耦合元件(CXD)等摄像元件用微透镜能够主要通过微细的图案形成来制作高精细的摄像元件，该微细图案使用光致抗蚀剂来制作。具体而言，通过将包含高分子树脂和感光剂的抗蚀剂组合物涂布在基板上制膜后，用光刻法进行图案形成，显影，从而形成一个图案，制作出微透镜。因此，要求用作微透镜材料的抗蚀剂组合物为高灵敏度，图案形成能力优异。此外，由于所...
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