技术编号：2742129
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电子通信，特别涉及一种晶圆级光波导及其 制造方法。背景技术随着网络通信技术的飞速发展，人们对网络信息传输速度的要求曰 益提高。以往的"电"互连，也就是以铜线为基础的电子信号传输线路 所能承载的信号带宽已经接近饱和，于是光互连技术为基础的光通信应 运而生。光互连是一种利用光作为传递信息的载体，实现计算机系统结 构内各部件之间或各系统之间互连的技术。从光互连所用的传输介质来 看，主要有光波导互连、光纤互连以及自由空间光互连等技术。从光互 连在计算机...
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