自动聚焦控制单元、电子设备以及自动聚焦控制方法技术资料下载

技术编号:2742671

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总的来说,本发明涉及用于通过定位地调节测试样本和物镜来自动控制焦点的自动聚焦控制单元和方法。具体l也,本发明涉及当 为使用而切换多个物镜时能够根据物镜来执行聚焦的自动聚焦控 制单元和方法、以及电子i殳备。背景技术在诸如光学显微镜、深度计等的光学设备领域中,已使用自动 聚焦装置来作为用于自动聚焦到将被检验的测试样本上的装置。自动聚焦装置的实例包括以下这种装置为进行自动聚焦,激 光束被导向测试样本,从测试样本反射的激光束被检测作为反射激 光束,并基于反射激光束...
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