技术编号：2742736
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶显示的光刻工艺，特别涉及一种曝光系统和曝 光方法。背景技术液晶显示面板(Liquid Crystal Display panel)是液晶显示装置的重要组 成部分。液晶显示面板的一般制程，主要是依据电路设计的需求，反复进行 成膜、制版、蚀刻、光阻剥离等不同的模块操作，经由数道步骤后完成阵列 基板，然后再配合另一片上面有彩色滤光片的玻璃，进行液晶的注入等，始 完成制作液晶显示面板。制版工程一般包括涂抹、曝光、显影等工艺。制版 工程的要项为光阻涂抹...
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