技术编号：2742962
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成图案用的模子、图案形成方法以及图案形成设备。 更具体地，本发明涉及模子与基板的对准技术。背景技术近年来，用于将模子上的微小图案结构转印到如树脂或金属这样 的部件上的精细加工技术得到了发展。这种技术被称为毫微压印或毫 微压花，并且被期望来实现纳米等级的分辨率，从而其作为下一代半 导体制作技术取代如分档器(stepper)或扫描器等曝光设备而倍受关 注。另外，根据该毫微压印技术，空间结构能够作为整体形成在晶片 上，尽管其基于晶片尺寸而有所变化。这...
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