振动元件的制作方法技术资料下载

技术编号:2743004

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本发明涉及振动元件,尤其涉及包括被驱动成以指定共振频率振动的可动 部分的振动元件。 背景技术包括被驱动成以指定共振频率振动的可动部分的振动元件是一般已知的,例如,如日本专利公开No. 2004-242488、日本专利No. 3806826、日本专利公 开No. 2002-277809、日本专利公开No. 2007-151244以及日本专利公开No. 2001-305471中的每一个所公开的。前述日本专利公开No. 2004-242488公开一种电磁致动器,...
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