技术编号：2744461
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及基板领域，例如，盘，微制造，并且更具体的是涉及基板图案化，例如， 用于硬盘驱动器的硬盘的磁性层。背景技术基板的微制造是一种熟悉的技术，该技术应用于半导体制造、平板显示器、发光二 极管(LED)用于硬盘驱动器盘(HDD)的硬盘等等。众所周知，半导体、发光二极管以及平板 显示器的制造涉及各种使基板图案化的步骤。另一方面，通常被称为纵向记录技术的传统 硬盘制造并不涉及图案化。同理，用于垂直记录技术的盘的制造也不涉及图案化。多个均 勻层沉积并且存储单元通...
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