正向作用的光刻胶的制作方法技术资料下载

技术编号:2744595

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本发明涉及一种改善了的酸硬化光刻胶组合物,它对于在基底表面上形成正向交联影是有效的,例如用于制备集成电路和印刷电路板。更确切地说,本发明涉及一种正向作用的光刻胶组合物,它借助了酸硬化技术与光生碱产生剂。选择光生碱产生剂来中和酸(存在于光刻胶膜的非影像曝光的部分),并结合利用酸的交联光刻胶模的能力(在该膜的不含有光化学反应产生的碱的部分),加热后该膜便可在基底的表面形成交联的正性影像。本发明涉及到以前公开的如欧洲专利申请85303807.3,公开号01642...
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