技术编号：2744753
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于数字微镜器件亚微米周期结构制备系统。背景技术微纳光子器件通过在波长和亚波长尺度上对光的操控，实现各种各样光操控功能。微纳光子器件制备方法主要有化学自组织生长法、逐点微加工法、光学全息制备法和多步骤组合法。其中光学全息制备法通常采用多光束干涉的方法，形成空间周期排列的光强分布，再作用于感光材料，将空间光强分别刻蚀在材料上，它具有无缺陷、大体积、成本低、效率高、品质好的优点，具有应用于大规模生产的潜力。借鉴于光刻技术多年来的发展经验，特别微小...
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