技术编号：2745027
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种显示用面板等的基板的制造装置，尤其涉及一种在玻璃基板上形成图形的液晶曝光装置。 背景技术将掩模和基板玻璃靠近在1mm以下并照射平行光从而在基板玻璃上转印掩模图 案的近接方式的曝光装置被用于制造以液晶为首的显示用面板。对于该曝光装置处理的基 板玻璃而言，为了提高液晶面板的生产性，其大型化在不断发展中，以使曝光装置在一次曝 光下作成的液晶面板的数量增多，其尺寸可根据情况达到10m(长)X5m(宽)X8m(高)，重 量仅台架就能达到100吨。在曝光...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。