技术编号：2745212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及向缺陷部照射激光光束来进行修复的激光修复装置，该缺陷部产生于例如液晶显示器等的FPD玻璃基板、半导体晶片、印制基板等上。背景技术液晶显示器(以下称为"LCD")等FPD制造商导入许多激光修复装置，在TFT(薄膜晶体管)工序、CF(滤色器)工序中进行修复。各个制造商独自改善修复工序，修复方法和条件多种多样。随之，要求激光修复装置具有多功能的结构，其中之一是在修复中使用的激光光束的波长。 在修复中使用的激光波长因每个LCD制造商而异， 一般，使用YA...
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