技术编号：2745935
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种物镜，特别是一种投影物镜，尤指一种微光刻投影物镜。根据本发 明的物镜也适用于显微镜或在检查系统中使用。该物镜可用在所有的波长范围内，也就是 可用于> 193nm的波长。 一种特别优选的，但并不仅限于此的使用范围是，应用作为微光刻 投影物镜装置中的微光刻投影物镜，尤其用于《193nm的波长。背景技术通常，有三个不同种类的投影物镜，即所谓的折射物镜、反射物镜及折反物镜。折 射物镜使用折射元件，例如透镜元件，以使得光线从物面成像到像面中。反射...
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