衬底处理装置和平板显示器的制造装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2746276

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本发明涉及对衬底进行处理的衬底处理装置和使用了该衬底处理装置的平板显示器的制造装置。背景技术平板显示器中有一种是液晶显示器。液晶显示器,在TFT(薄膜晶体管)衬底和CF(滤色片)衬底之间封入液晶而构成屏衬底,在该屏衬底的周围的一边至四边上搭载作为驱动IC的电子电路部件。作为在屏衬底上搭载电子电路部件的方式,有TAB(载带自动键合)方式、C0G(玻璃上芯片)方式、COF(膜上芯片)方式等。在屏衬底上等间隔地形成有多个以多个电极作为一组的电极组,以在各电极组上...
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