高分辨率的正作用干膜光致抗蚀剂的制作方法技术资料下载

技术编号:2747918

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及单层干膜形式的正作用光致抗蚀剂(positive acting photoresist),该光致抗蚀剂可用通常用于负作用干膜光致抗蚀剂的化学方法和设备进行曝光和显影。更具体地说,本发明涉及前述干膜的层压以制造印刷电路板。本发明还涉及前述光致抗蚀剂组合物作为直接施用在精选的底材上的液体抗蚀剂的使用。本发明还涉及内层印刷和蚀刻应用、外层去偶电镀应用、埋层的无焊接区的通路(buried and landless vias)、来自层压的干膜光致抗蚀剂或施...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 杨老师:物理电子学