技术编号：2748236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种偏振器，尤其涉及一种工作波长为190 3300nrn的深 紫外超宽带偏振器。技术背景通用的冰洲石(Calcite)偏振器的使用最低波长只能达到350nm，而目前普 通的ci-BBO偏振器虽然能达到200nm，但无法覆盖宽的波长范围，只能分段为 200-270nm， 300-700nm， >700nm。由于半导体行业，对涂层厚度检测的精度要 求越来越高，这就要求测试这种微厚度的椭偏仪能覆盖从深紫外到近红外的检 测能力，而要实现这个功能...
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