技术编号：2749179
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及调平调焦机构，尤其涉及一种运动平稳的垂向调平调焦机构。 背景技术一种现有技术是美国专利US005204712A公开的一种3自由度的微动台，该台的基 本原理是通过三组凸轮机构，分布在三个点上，三个驱动点通过一个柔性机构连接到承片 台上，并用簧片导向，共同驱动承片台，从而实现调平和调焦功能。该台的3个自由度调节 量不大，尤其是Z向自由度不能实现大行程调节。另一种现有技术是中国专利CN2580470公开的一种三自由度超精密定位平台，该 台体内部呈等...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。