技术编号：2749216
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型设计半导体制造领域的装置，具体地说，是有关于一种存放光罩的光罩承载架的承载杆。 背景技术光罩装载系统包括光罩承载架、底部侦测器、光罩尺寸辨认侦测器。系统通过底部 侦测器获知系统是否装载上了光罩等待清洗，而光罩尺寸辨认器能够辨认当时在承载架上 到底是5英尺的光罩还是6英尺的光罩。而6009规格的光罩由于比较薄，并且承载架的摆 放空间比较大，很容易造成系统把6009规格的光罩认成5009规格的光罩。(6009规格的光 罩和6025规格的光罩为6英尺正...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。