技术编号：2749662
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种激光标记技术，更具体地，涉及一种可调整线宽的笔型激光 标记装置及其中的激光光阑变换装置。背景技术在现有技术中，半导体集成电路应形成必要的激光标记(Laser Mark)，如各式文 字、LOGO图形、符号标志等等，以便识别半导体集成电路的种类、型号、产地、出产商等必要 信息。为了进行激光标记，需采用笔型激光标记装置。以笔型激光标记装置发射出的一道 细激光束在半导体集成电路的表面进行刻画，来形成必要的文字或LOGO图形。附图说明图1是现有技术...
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