技术编号：2750007
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于光谱，特别涉及一种在平面光栅制作过程中精确控制光 栅常数的装置。背景技术衍射光栅非常重要的技术指标之一——光栅周期决定着光栅的色散率和分辨率。 对于光谱仪器而言，光栅常数的改变将导致光栅衍射角的改变，使得光谱仪器谱线位置产 生偏移，因此，光栅常数的准确性直接影响光谱仪器的波长精度，在制作过程中必须严格控 制。在全息光栅的制作过程中，一个关键的工艺流程就是，将涂有光致抗蚀剂的光栅 基底放在干涉场中，由光致抗蚀剂记录干涉场中的干涉条纹。当曝光波长...
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