技术编号：2751154
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及主要是喷射高压清洗液对液晶面板、等离子体面板、太阳能电池板、有 机EL (电致发光)板等FPD (平板显示器)、大型平板玻璃、半导体晶片等平板状物体进行高 压清洗液喷射式清洗的高压清洗液喷射式清洗装置(也称为“水喷射清洗机”)。详细地说， 涉及例如在液晶显示器和半导体晶片等的制造工序中，能够使用于喷射高压清洗液(包括 高压水)去除玻璃基板表面上的微细颗粒、有机物、金属杂质这样的构成成品率低的原因的 污物，结构简单能够实现低成本化的高压清洗液喷射清...
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