技术编号：2751322
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例大致涉及用以在转移操作期间支撑衬底的设备与方法。具体而 言，本发明的实施例涉及用以在真空条件下支撑且转移大面积衬底的设备与方法。背景技术大面积衬底通常用于制造太阳能面板、平面面板显示器(例如主动矩阵或薄膜晶 体管(TFT)显示器)、液晶显示器(LCD)、电浆显示器等。随着市场接受太阳能技术与平面面板技术，更大的太阳能面板或平面显示器面 板、增加的产能及更低的制造成本的需求已经驱使设备制造商发展新系统，其中该新系统 可容纳太阳能面板与平面面板显...
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