技术编号:27514832
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种基于金属基底的嵌入式压电传感器结构,属于压电传感器技术领域。背景技术.随着工业互联网及智能制造的产业升级,制造过程实时监控已经变得越来越重要,一方面不仅可以通过制造过程中关键工艺参数的获取来改进产品质量、提升生产效率,同时还可以提前发现问题并及时进行干预从而避免恶性事故的发生。力作为重要的工艺参数,在过程监控过程中起着十分重要的作用。人们尝试使用压电传感器对力进行监测。.但是,常规基于硅基底的压电传感器由于基底材料的脆性和不耐高温等缺点,很难应用到高温、高压、大应变以及...
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