技术编号：2751515
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造薄膜晶体管阵列基板的方法和装置，更具体来讲，涉及一种由于简化了制造工艺而能够减少制造时间的制造薄膜晶体管阵列基板的方法和装置。背景技术一般来讲，薄膜晶体管阵列基板(在下文中被称为“TFT阵列基板”)包括开关器件或者薄膜晶体管，其中所述开关器件控制扁平型的显示设备例如液晶显示设备或者发光显示设备中的每一像素的操作，而所述薄膜晶体管驱动上述扁平型显示设备中的每一像素。薄膜晶体管包括栅极、形成为与所述栅极绝缘的半导体层、形成为具有在所述半导体层...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。