光调制装置和激光加工装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2751773

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本发明涉及具有反射型的空间光调制器的光调制装置和激光加工装置。 背景技术在专利文献1中,记载有采用反射型的空间光调制器(SLM =Spatial Light Modulator)的装置。在记载于该文献中的装置中,在假想基准直线上设置2个反射镜,在从假想基准直线沿垂直方向而错开的位置,设置反射型SLM。另外,沿假想基准直线而射入的输入光通过其中一个反射镜而反射,射入SLM中。该光通过SLM而调制,通过另一反射镜反射,然后,沿假想基准直线而射出。近年,人们研究...
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