技术编号：2752051
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微可动元件阵列及通信设备，所述微可动元件阵列包含多个具有微小的可动部的例如微镜元件、角速度传感器、加速度传感器等微可动元件。背景技术近年来，在各种中，正在努力实现对具有通过MEMS(micro electro mechanical systems，微机电系统)技术形成的微小结构的元件的应用。在这样的元件中， 含有例如微镜元件、角速度传感器、加速度传感器等具有微小的可动部的微可动元件。微镜元件在例如光通信技术或光盘技术的领域中被用作承担光反射功能的...
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