光阻剂清洗液组成物及其应用的制作方法技术资料下载

技术编号:2752294

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本发明是关于光阻剂清洗液组成物及其应用,其可运用在需要旋转涂布光阻的工艺,对于附着于基板外围部、边缘部或里面部的未固化的感旋光性组成物涂布膜的除去,或对于附着于装置构件或器具表面的未固化的感放射线性组成物除去的清洗液,如彩色滤光片(CF)、液晶显示器(LCD)或印刷电路板(PCB)的领域上。 特别适用于彩色滤光片未固化的感旋光性组成物除去的清洗液用途上。背景技术—般在液晶、有机EL、等离子体显示器等平面显示器或半导体和印刷电路板等工艺中,为获致精细图像,使...
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