技术编号:2752430
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过粒子射线和电子射线等活化放射线的照射,在显影液中溶解性发生变化的放射线敏感性树脂组合物。更详细的说,本发明涉及适合作为形成透明性优良的树脂图案膜的材料的放射线敏感性树脂组合物,所述树脂图案膜是保护膜、平坦化膜、电绝缘膜等电子部件用的树脂膜,另外,本发明还涉及应用该放射线敏感性树脂组合物的树脂图案膜的形成方法。并且,本发明还涉及该树脂图案膜作为电子部件用树脂膜的应用。背景技术 液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等电子部件、液晶显示器用的滤...
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