一种环形谐振腔的制作方法技术资料下载

技术编号:2752812

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本发明涉及一种环形谐振腔,属于激光和微光机电。背景技术微光学陀螺是实现转动检测的微型高精度惯性传感器件,与传统的机械陀螺和其 他光学陀螺相比,其优势在于体积小、重量轻、集成度高;与MEMS惯性器件相比不需真空 封装,且动态响应范围大,抗电磁干扰能力强,可在一些恶劣环境下使用,在航空、航天、航 海等均用领域及地质、石油勘探等民用领域具有广阔的应用前景。 谐振式微光学陀螺利用同一闭合回路中顺、逆时针方向传播的两束光之间的谐振 频率差来测量旋转速度。谐振式微光学...
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