技术编号：2753126
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种将涂布液涂布在基板上的涂布装置。 背景技术在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中，使用涂布有抗蚀剂液的玻璃基板 (以下也称之为涂布基板)。而且，所述涂布基板是通过使用将抗蚀剂均勻涂布在玻璃基板 上的涂布装置而制成的。作为这样的涂布装置，下述专利文献1公开了以下技术方案上述涂布装置具有 基板保持盘，保持基板；涂布头(涂布部)，配置在由基板保持盘保持的基板上方、且从下端 部的喷嘴流出抗蚀剂液；相对移动装置，使涂布头相对于基板保持盘相对水平地移...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。