技术编号：2753278
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种混合磁浮式的重力补偿装置。 背景技术随着大规模集成电路器件集成度的不断提高，光刻分辨力的不断增强，对光刻机的特征线宽指标要求也在不断提升。目前，光刻机已经发展成为内部世界和外部世界的结合体，其中工件台、掩模台和照明系统三个独立世界分别减振隔振。以微动模块为例，如何使承片台在曝光过程中免受工件台系统和基础框架振动的干扰至关重要，需要采用行之有效的方案对承片台进行减振和隔振。重力补偿器结构就是在此背景下发展起来的新型结构，通过主动减振与被动隔振结...
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