技术编号：2753344
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微透镜及其制作方法，尤其涉及一种基于数字无掩模光刻技术的 微透镜及其制作方法。背景技术在微型光学元件制造中，光刻技术从掩模时代发展到无掩模时代，而微光学元件 的设计和制造方法也相应地经历了两个时代的发展，作为无掩模的一种，数字光刻技术具 有制作方便、节约材料降低成本、高精度、无套刻误差、一次性曝光制作三维面型结构等优 点。数字光刻系统中的空间光调制器(SLM)通常是数字微镜器件(DMD)，它由多个微小 的方形反射镜组成，我们把一个这样的微型镜...
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