技术编号：2753675
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件的设计、微纳加工及生物传感领域，特别是涉及一种同侧 输入、输出的微环谐振器阵列及其封装方法。背景技术生物传感器是一种新型的具有广泛应用前景的传感结构。可广泛应用于生物医 学、健康医疗、医疗药品、环境监测、国防安全和军事等。与传统的电学传感器相比，生物传 感器具有不受电磁干扰、远程传感、实时探测、并能用单一设备实现多种探测等优点。微环 生物传感器是基于光的耦合理论的光传感器件，它具有体积小、灵敏度高、与CMOS工艺相 兼容、便于批量生产等...
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