技术编号：2753697
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密机械仪器领域，具体涉及一种可变光阑。 背景技术投影物镜可变光阑主要用途是控制孔径(NA)的大小。在曝光系统中，不同的成像需求对应不同的数值孔径，并且由于光阑场曲的存在，不同孔径下光阑的轴向位置也不相同。所以为了实现上述功能，需要设计一种可以自动控制光阑大小的机械机构。在一美国专利(专利号US4460253)中提到，可变光阑由6片拥有不同曲率半径合成的曲线边缘、且可以分别绕着连接支点在转盘上转动的叶片组成。叶片内部有圆弧滑槽轨道，固定于转盘上的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。