薄膜晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:2753987

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本发明涉及一种薄膜晶体管。特别涉及一种设置有薄膜晶体管的显示装置。 背景技术近年来,由具有绝缘表面的衬底(例如,玻璃衬底)上的半导体薄膜(厚度是几nm至几百nm左右)构成的薄膜晶体管(下面称为TFT)受到注目。TFT已被广泛地应用于如 IC(集成电路;Integrated Circuit)及电光装置那样的电子器件。尤其是,目前正在加快 开发作为以液晶显示装置等为代表的图像显示装置的开关元件的TFT。在液晶显示装置等 的图像显示装置中,使用非晶半导体膜的TF...
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