技术编号：2754265
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在基板上形成有具有遮光部、透光部以及移相部的转印图案的透射型 相移掩模等的光学元件及其制造方法。背景技术近年来，公知有在基板(例如石英等透明基板)上形成有具有遮光部、透光部以及 移相部的转印图案的透射型相移掩模等光学元件(例如参照专利文献1)。遮光部是对形成 在基板上的遮光膜进行构图而成的，构成为阻断照射到光学元件上的光。透光部是露出基 板上的一部分表面而成的，构成为透射照射到光学元件上的光。移相部是对露出的基板的 一部分表面进行蚀刻等而成的，构...
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