曝光区域之间图形偏移量的检测方法及测试图形的制作方法技术资料下载

技术编号:2754411

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本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器制造领域,尤其涉及一种曝光区域之间图形偏移量的检测方法及测试图形。背景技术TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示器)因其体积小,功耗低、无辐射等特点,在当前的平板显示器市场占据了主导地位。TFT-LCD器件是由阵列玻璃基板和彩膜玻璃基板对合而形成的。在阵列基板中相互交叉地配置定义像素区域的栅极线和信号线,在各像素区域中配置像素电极和薄膜晶体管...
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